High Precision Positioning Control using High-Power Electrostatic Linear Drive.

نویسندگان
چکیده

برای دانلود رایگان متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

emittance control in high power linacs

چکیده این پایان نامه به بررسی اثر سیم پیچ مغناطیسی و کاوه یِ خوشه گر با بسامد رادیویی بر هاله و بیرونگراییِ باریکه هایِ پیوسته و خوشه ایِ ذرات باردار در شتابدهنده های خطیِ یونی، پروتونی با جریان بالا می پردازد و راه حل هایی برای بهینه نگهداشتن این کمیتها ارایه می دهد. بیرونگرایی یکی از کمیتهای اساسی باریکه هایِ ذرات باردار در شتابدهنده ها است که تاثیر قابل توجهی بر قیمت، هزینه و کاراییِ هر شتابدهند...

Model Reference Control for Ultra - High Precision Positioning Systems

MODEL REFERENCE CONTROL FOR ULTRA-HIGH PRECISION POSITIONING SYSTEMS by Lan Yu Due to the increasing demands of high-density semiconductors, molecular biology, optoelectronics, and MEMS/NEMS in the past decades, control of ultra-high precision positioning using piezoelectricity has become an important area because of its high displacement resolution, wide bandwidth, low power consumption, and p...

متن کامل

Control of a long range high-precision positioning system

Among a variety of actuators, Lorentz actuators are often used as fine actuators in DSA systems under an environment where disturbances are expected at fine actuators’ base. Their advantage is that they show an almost ideal zero stiffness characteristics, which is that disturbances from bases do not transmit to the moving parts [1]. Such zero-stiffness DSA systems have been applied to wafer sca...

متن کامل

Workshop on High Precision Positioning and Vibration Control

This talk considers optimal design of frame structures for vibration suppression. The H-infinity norm of the transfer function from disturbance sources to the displacement outputs, which we want to suppress, is adopted as the objective function to represent the magnitude of vibration transfer. The design parameters are the cross-sectional areas of frame members. For minimization of the H1 norm ...

متن کامل

Precision Motion Control of Linear Motor Drive Systems for Micro/nano-positioning

Micro and Nano-technologies need precision machines that can produce motion accuracy down to micro/nano-meter range. At the same time, these machines have to operate at high speeds to yield high productivity. Such an increasingly tight control performance requirement puts a significant challenge to control community and forces control engineers to look beyond traditional linear control theory f...

متن کامل

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Journal of the Japan Society for Precision Engineering

سال: 1998

ISSN: 1882-675X,0912-0289

DOI: 10.2493/jjspe.64.1385